第107节（3 / 4）
最终击中直径30μm的靶材料（锡液滴）。
视角追随其中一条光线，忽然向后拉远，视角范围内出现?数以万计的紫色细长光线穿过一个又?一个圆形长管最后以平均两次击中同?一靶材料电离锡原子，释放等离子体?，激发纳米级光子，完成光刻机的曝光步骤。
视角再向后拉远，饶是有着先进两百年的科技技术的系统也不由为这?号称工业皇冠的euv工作时的内部所震撼。
激光经过多?重反射镜均匀化、收集，投影掩膜，击中靶材料，获取需求中的等离子体?。
接下来?是利用收集镜收集等离子体?发散的euv辐射汇聚成光源发送至光刻系统，并经由曝光系统获取最终的ic晶圆。
但盛明安的团队没有做后面的两步，只设计了光源系统的实验设计。
一秒钟五万次的高频率，不仅需要确保过程不出错，还必须保证准度、精确度，可量产，以及功率利用最大化等等……
所以一次的实验结果不能证明什么，他们连续实验多?次，记录数据作比对，计算出一个最优概率。
键盘噼里啪啦的计算，所有人屏息以待。
助手姑娘猛然掐住杜颂的胳膊，龇牙咧嘴：“giao！怎么样了？！”
杜颂也疼得龇牙咧嘴，差点猛男落泪：“我?不知道。”
助手姑娘又?没想要他回答，眼睛悄悄溜向盛明安，内心呜呜穿防尘服的盛工就算从头包到脚还是无比帅气，所以快点告诉她结果吧！
盛明安：“各组报告结果。”
来?了！
众人振奋！
一组报告：“二氧化碳脉冲激光器无损，功率消耗在预估范围内，光线利用率成功达到2%！”
二组报告：“散热系统启动！散热功能正常！”
三组报告：“传感器反馈激光和液滴同?步对准，激光等离子体?在预估范围内捕获！”
四组报告……
随着一个又?一个与仿真?预估无二的报告传入众人耳中，预示着光源系统设备实验验收圆满完成！
众人憋着一口气没出声，就等着盛明安总结。
盛明安不负众望，听完各组结果报告，对着扩音器宣布：“高阶光刻机光源系统技术研究项目圆满通过验收，”他稍稍提高音量，“我?们的科研项目，激光等离子体?极紫外?光刻光源是——”
“13.5nm！”
原本想欢呼的众人脸上刚升起的笑容陡然僵住，瞳孔逐渐放大，呼吸急促，不敢置信，纷纷以为自?己的耳朵坏了，他们出现?了幻听。
盛明安语气里流泻出轻松的笑意：“恭喜大家。”
见众人没反应，他回头，疑惑：“你们不满意吗？”
林成建也懵了，小心翼翼地询问：“盛工，你刚才说?13.5nm……不是16nm？”
同?盛明安争论了将近半个月早已震惊过的程院长好笑地环顾众人表现?不一的样子。
雷客比林成建还小声轻柔：“比asml euv的14nm还精确了0.5nm？”
杜颂捂着心脏，喃喃说?道：“不是吧……我?整天研究的就是这?么牛逼的玩意？” ↑返回顶部↑
视角追随其中一条光线，忽然向后拉远，视角范围内出现?数以万计的紫色细长光线穿过一个又?一个圆形长管最后以平均两次击中同?一靶材料电离锡原子，释放等离子体?，激发纳米级光子，完成光刻机的曝光步骤。
视角再向后拉远，饶是有着先进两百年的科技技术的系统也不由为这?号称工业皇冠的euv工作时的内部所震撼。
激光经过多?重反射镜均匀化、收集，投影掩膜，击中靶材料，获取需求中的等离子体?。
接下来?是利用收集镜收集等离子体?发散的euv辐射汇聚成光源发送至光刻系统，并经由曝光系统获取最终的ic晶圆。
但盛明安的团队没有做后面的两步，只设计了光源系统的实验设计。
一秒钟五万次的高频率，不仅需要确保过程不出错，还必须保证准度、精确度，可量产，以及功率利用最大化等等……
所以一次的实验结果不能证明什么，他们连续实验多?次，记录数据作比对，计算出一个最优概率。
键盘噼里啪啦的计算，所有人屏息以待。
助手姑娘猛然掐住杜颂的胳膊，龇牙咧嘴：“giao！怎么样了？！”
杜颂也疼得龇牙咧嘴，差点猛男落泪：“我?不知道。”
助手姑娘又?没想要他回答，眼睛悄悄溜向盛明安，内心呜呜穿防尘服的盛工就算从头包到脚还是无比帅气，所以快点告诉她结果吧！
盛明安：“各组报告结果。”
来?了！
众人振奋！
一组报告：“二氧化碳脉冲激光器无损，功率消耗在预估范围内，光线利用率成功达到2%！”
二组报告：“散热系统启动！散热功能正常！”
三组报告：“传感器反馈激光和液滴同?步对准，激光等离子体?在预估范围内捕获！”
四组报告……
随着一个又?一个与仿真?预估无二的报告传入众人耳中，预示着光源系统设备实验验收圆满完成！
众人憋着一口气没出声，就等着盛明安总结。
盛明安不负众望，听完各组结果报告，对着扩音器宣布：“高阶光刻机光源系统技术研究项目圆满通过验收，”他稍稍提高音量，“我?们的科研项目，激光等离子体?极紫外?光刻光源是——”
“13.5nm！”
原本想欢呼的众人脸上刚升起的笑容陡然僵住，瞳孔逐渐放大，呼吸急促，不敢置信，纷纷以为自?己的耳朵坏了，他们出现?了幻听。
盛明安语气里流泻出轻松的笑意：“恭喜大家。”
见众人没反应，他回头，疑惑：“你们不满意吗？”
林成建也懵了，小心翼翼地询问：“盛工，你刚才说?13.5nm……不是16nm？”
同?盛明安争论了将近半个月早已震惊过的程院长好笑地环顾众人表现?不一的样子。
雷客比林成建还小声轻柔：“比asml euv的14nm还精确了0.5nm？”
杜颂捂着心脏，喃喃说?道：“不是吧……我?整天研究的就是这?么牛逼的玩意？” ↑返回顶部↑