第107节(3 / 4)

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  最终击中直径30μm的靶材料(锡液滴)。
  视角追随其中一条光线,忽然向后拉远,视角范围内出现?数以万计的紫色细长光线穿过一个又?一个圆形长管最后以平均两次击中同?一靶材料电离锡原子,释放等离子体?,激发纳米级光子,完成光刻机的曝光步骤。
  视角再向后拉远,饶是有着先进两百年的科技技术的系统也不由为这?号称工业皇冠的euv工作时的内部所震撼。
  激光经过多?重反射镜均匀化、收集,投影掩膜,击中靶材料,获取需求中的等离子体?。
  接下来?是利用收集镜收集等离子体?发散的euv辐射汇聚成光源发送至光刻系统,并经由曝光系统获取最终的ic晶圆。
  但盛明安的团队没有做后面的两步,只设计了光源系统的实验设计。
  一秒钟五万次的高频率,不仅需要确保过程不出错,还必须保证准度、精确度,可量产,以及功率利用最大化等等……
  所以一次的实验结果不能证明什么,他们连续实验多?次,记录数据作比对,计算出一个最优概率。
  键盘噼里啪啦的计算,所有人屏息以待。
  助手姑娘猛然掐住杜颂的胳膊,龇牙咧嘴:“giao!怎么样了?!”
  杜颂也疼得龇牙咧嘴,差点猛男落泪:“我?不知道。”
  助手姑娘又?没想要他回答,眼睛悄悄溜向盛明安,内心呜呜穿防尘服的盛工就算从头包到脚还是无比帅气,所以快点告诉她结果吧!
  盛明安:“各组报告结果。”
  来?了!
  众人振奋!
  一组报告:“二氧化碳脉冲激光器无损,功率消耗在预估范围内,光线利用率成功达到2%!”
  二组报告:“散热系统启动!散热功能正常!”
  三组报告:“传感器反馈激光和液滴同?步对准,激光等离子体?在预估范围内捕获!”
  四组报告……
  随着一个又?一个与仿真?预估无二的报告传入众人耳中,预示着光源系统设备实验验收圆满完成!
  众人憋着一口气没出声,就等着盛明安总结。
  盛明安不负众望,听完各组结果报告,对着扩音器宣布:“高阶光刻机光源系统技术研究项目圆满通过验收,”他稍稍提高音量,“我?们的科研项目,激光等离子体?极紫外?光刻光源是——”
  “13.5nm!”
  原本想欢呼的众人脸上刚升起的笑容陡然僵住,瞳孔逐渐放大,呼吸急促,不敢置信,纷纷以为自?己的耳朵坏了,他们出现?了幻听。
  盛明安语气里流泻出轻松的笑意:“恭喜大家。”
  见众人没反应,他回头,疑惑:“你们不满意吗?”
  林成建也懵了,小心翼翼地询问:“盛工,你刚才说?13.5nm……不是16nm?”
  同?盛明安争论了将近半个月早已震惊过的程院长好笑地环顾众人表现?不一的样子。
  雷客比林成建还小声轻柔:“比asml euv的14nm还精确了0.5nm?”
  杜颂捂着心脏,喃喃说?道:“不是吧……我?整天研究的就是这?么牛逼的玩意?” ↑返回顶部↑

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